、 技術(shù)參數(shù) 1.有效測量行程(X軸Y軸) ： 500 mm400 mm 2.Z軸調(diào)焦升降范圍： 200mm 3.分辨率： 0.5m 4.X、Y軸線性精度： U( 3+L/200 )m （L單位：mm） 5.載物臺尺寸：750 mm*600mm 6.玻璃臺尺寸：553 mm443